[实用新型]一种单晶硅片烘干装置有效
| 申请号： | 202222769626.1 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN218155333U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 光善如 | 申请（专利权）人： | 安徽晶瑞新材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/02;F25D1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 247000 安徽省池州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片烘干装置，涉及单晶硅片技术领域。本实用新型包括工作台，工作台顶部的一端设置有烘干箱，烘干箱的内部设置有加热丝。本实用新型通过第一移动机构以及第二移动机构的设置，使得两个矩形移动台能够分别进入烘干箱的内部进行烘干，进而使得其中一个矩形移动台能够在烘干时，另一个矩形移动台能够进行上料或下料，并通过吹风机组件的设置进行降温处理，进行提高工作效率，本实用新型通过批量夹持机构的设置，使得单晶硅片能够得到批量的夹持，对单晶硅片夹持有利于烘干以及冷却时单晶硅片的稳定性，通过液压缸的运作使得批量的单晶硅片能够快速的上下料，进一步提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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