[实用新型]真空压力规保护阀有效
| 申请号： | 202222752530.4 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN218543280U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 王刚伟 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K13/00 | 分类号： | F16K13/00;F16K27/00;F16K31/12 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 黄一磊 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空压力规保护阀，包括：阀体、进气口、第一出口和第二出口；阀体具有腔体、伸缩杆和气动阀，伸缩杆的一端与进气口连接，另一端与气动阀连接；伸缩杆具有伸缩段，伸缩段沿自身轴向可伸缩；气动阀和第一出口同轴设置；腔体与第二出口连接，气体经进气口进入伸缩杆，推动伸缩段沿自身轴向向靠近第一出口的方向伸出，气动阀与第一出口连通，气动阀打开，以允许进气口与第一出口连通；停止供应气体，伸缩段沿自身轴向向远离第一出口的方向缩回，以断开气动阀与第一出口的连通，气动阀闭合。如此配置，将气体与真空压力规隔离开，避免气体对真空压力规的侵蚀损坏，提升了真空压力规的使用寿命，降低了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 压力 保护 | ||
【主权项】：
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