[实用新型]腔体管路结构

摘要

本申请提供一种腔体管路结构，涉及管路结构的技术领域，其包括腔体、前级管路以及压力表；前级管路与腔体连接，前级管路上设置有螺旋管路，前级管路和螺旋管路配合以输送腔体导出的工艺气体；压力表与前级管路连接，以检测前级管路内的气压。通过在前级管路上设置螺旋管路，由于螺旋管路呈螺旋形，延长了供气体流动的通道长度，气体在螺旋管路内盘旋过程中，气体中的一部分颗粒物会于螺旋管路内沉积，进而可以减少压力表检测气压时受到来自颗粒物的影响，进而能够提高压力表的使用寿命，减少MOCVD机台的停机时长，进而提高生产效率。