[实用新型]刻蚀工艺演示装置

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀工艺演示装置，包括有基壳、活动设置在基壳前侧的晶圆模型、用于驱动晶圆模型纵向运动的驱动机构，所述基壳包括有位于晶圆模型运行路径的下端的箱体，所述箱体用于模拟化学溶液池，箱体包括有可供晶圆模型向下运动进入的内腔，所述箱体包括有视频播放模块，所述视频播放模块与驱动机构联动配合，并能够在晶圆模型进入箱体的同时播放预设的第一视频动画，所述第一视频动画的内容包括有晶圆向下浸入到化学溶液池中并进行反应的过程。本实用新型构造简单，能够用于芯片制作工艺中刻蚀步骤的教学演示用途，虚实结合，具有较好的教学效果。