[实用新型]超净工作台有效

专利信息
申请号: 202222592057.8 申请日: 2022-09-29
公开(公告)号: CN218321611U 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 欧阳妙;李强;张达;冯飞;赵辅平 申请(专利权)人: 东莞市宇瞳光学科技股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 贾爱存
地址: 523000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于镀膜伞防尘技术领域,公开了一种超净工作台,包括主架体、送风除尘系统以及多个镀膜伞。其中,主架体上设置有安装空间,送风除尘系统能够对安装空间进行除尘,镀膜工件安装于镀膜伞的安装位上,且镀膜伞为板状结构,且多个镀膜伞沿主架体的长度方向上平行且间隔分布。该超净工作台通过多个镀膜伞在安装空间内平行且间隔设置,每个镀膜伞占用空间小,使镀膜伞能够大批量安装于安装空间内,实现了在超净工作台内满足大批量镀膜的需求。
搜索关键词: 工作台
【主权项】:
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