[实用新型]一种新型坩埚托杆及单晶炉有效
| 申请号： | 202222353132.5 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN218147043U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 申富强;赵春铁;闫坤;李开元 | 申请（专利权）人： | 上海骐碳复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 汪发成 |
| 地址： | 201403 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型坩埚托杆及单晶炉，涉及单晶硅生产设备技术领域。本实用新型包括承托部以及托杆部，承托部采用第一销钉与第一拼接体固定连接后经磨削形成的碗状造型；托杆部采用第二销钉与第二拼接体固定连接够经磨削形成的杆状或管状；托杆部的顶端与承托部底端的定位槽相对应卡合，形成对坩埚托盘进行托举的托杆结构；第一拼接体、第二拼接体、第一销钉、第二销钉均采用碳碳复合材料的废料。本实用新型相对于整体式成型的坩埚托杆，材料利用率提高，且即使某个位置或区域造成损坏，仅单个拼接部位进行更换或维修即可，避免了整个坩埚托杆进行更换或维修造成的成本过高的问题，大大降低了托杆的制造和使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 坩埚 单晶炉 | ||
【主权项】：
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