[实用新型]一种磁控溅射旋转阴极磁场检测装置有效
| 申请号： | 202222281788.0 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN218666255U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 周振国;张永胜;彭孝龙;董刚强 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;G01R33/02;G01R33/12 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 韦超峰 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射旋转阴极磁场检测装置，属于磁控镀膜领域，包括模拟靶筒以及测量机构，所述模拟靶筒沿其轴向上设有限位机构；所述测量机构包括高斯计以及固定座，所述固定座上设有固定部，所述高斯计一端卡接在固定部中，所述固定座在限位机构中沿模拟靶筒长度方向移动。本实用新型克服现有技术中圆柱形靶材上某处的磁场强度测量结果不准的不足，通过设置一块模拟靶材放置在原靶材位置处，进而在模拟靶材上通过移动测量机构准确测得靶材上各处的磁场强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 旋转 阴极 磁场 检测 装置 | ||
【主权项】：
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