[实用新型]一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种具备烘干功能的大尺寸硅片清洗装置，包括清洗机本体、控制面板、支板和放置篮，所述清洗机本体的前侧设置有控制面板，所述清洗机本体的左右两侧设置有支架，所述驱动电机的前侧设置有收卷轮，所述收卷轮的一侧设置有导线轮，所述收卷轮与导线轮上设置有绳索，所述绳索的下端设置有挂耳，所述挂耳的下方设置有放置篮，所述支板的下方设置有风扇。本实用新型通过收卷轮与绳索的设置，由于绳索固定的系在放置篮上的挂耳上，而绳索通过收卷轮进行收放，所以当需要收放放置篮时，通过驱动电机便可控制收卷轮进行转动，由此能够实现放置篮的上升与下降，方便操作人员对于硅片的清洗以及取出，实现了便于对硅片取料。