[实用新型]一种降低单晶炉功耗的炉底结构和设有该结构的单晶炉有效
申请号: | 202222250782.7 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN218345584U | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 李鹏飞;许建;王建平;王林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种降低单晶炉功耗的炉底结构和设有该结构的单晶炉,包括固化毡保温层,所述固化毡保温层铺设在单晶炉底部,所述固化毡保温层顶部设置隔热层,所述隔热层内部设有真空腔体,用于阻断热量传递。本实用新型还提供一种设有该炉底结构的单晶炉。本实用新型的有益效果是提高了单晶炉炉底的保温效果,减少了单晶炉的功耗,降低了单晶硅的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 单晶炉 功耗 结构 设有 | ||
【主权项】:
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