[实用新型]真空吸力检验设备有效
| 申请号： | 202222244338.4 | 申请日： | 2022-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN218566761U | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 赵德全 | 申请（专利权）人： | 恩普千睿电子科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/00 | 分类号： | G01L11/00;G01M3/02;B25B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了真空吸力检验设备，包括：设备机柜，用于设备的安装定位；吸持定位机构，设置于设备机柜的上方，用于IC芯片的定位；AFC空气过滤器，用于气体过滤及气压调节；真空发生器，用于气体压强的检测数显。本实用新型通过AFC空气过滤器和真空发生器的设置，能够对吸头座上的吸持模板处的吸力大小以及气密性进行检验，检验精度高，操作简单方便，从而达到提高对IC芯片加工的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸力 检验 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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