[实用新型]一种级联放大高功率低温等离子体发生器

摘要

本实用新型涉及等离子体发生器技术领域，公开一种级联放大高功率低温等离子体发生器，等离子体发生器包括外部结构、内部结构，外部结构包括：反应管体；与反应管体上端连接的上连接部；设置在反应管体两端的固定块，用于固定上连接部和下连接部；与反应管体的下端连接的下连接部；和用于在反应管体上形成电场的外电极结构。下连接部上设有用于供给原料气体的进气管，内部结构包括内电极和用于阻挡原料气体的介质层，内电极通过导线接地。本实用新型等离子发生器，多级电极可按照不同需求进行组合而产生不同面积和不同形状等离子体，双介质阻挡放电结构，采用不同材质的多段金属外电极串联，调控放电产生的击穿电压及放电的均匀性和稳定性。