[实用新型]一种温度补偿型的薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器有效
| 申请号： | 202222169708.2 | 申请日： | 2022-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN218734232U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 闫鑫;张智欣;陈长娥 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 牟森 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜体声波谐振器技术领域，特别涉及一种温度补偿型的薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括层叠设置的支撑衬底、压电层、第一电极层、第二电极层和钝化层，支撑衬底设有凹槽，压电层覆设在凹槽上，形成空腔，压电层的位于空腔内的表面上设有第一电极层，第一电极层内包覆有温度补偿层，且第一电极层与支撑衬底非接触；第二电极层包括相互分离的第一局部电极层和第二局部电极层，在第一电极层内设置温度补偿层，既能够对薄膜体声波谐振器进行温度补偿，避免了温度变化对FBAR的影响，还避免了后续加工对温度补偿层造成的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 补偿 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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