[实用新型]狭缝风刀显影控制装置有效
| 申请号： | 202222069273.4 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN218158733U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 康凯;陈旺;康威;覃伯成 | 申请（专利权）人： | 漳州思美科新材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;F26B21/00 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 王晶杰 |
| 地址： | 363118 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种狭缝风刀显影控制装置，包括显影机腔体以及显影机腔体内部设置的旋转显影组件和狭缝风刀组件，所述旋转显影组件包括设置于上部的喷头模块和旋转模块，所述喷头组件包括显影液喷头和去离子水喷头，所述旋转组件包括旋转马达和设置于旋转马达上的旋转平台，所述狭缝风刀组件设置于显影机腔体上部，斜对着旋转平台。本实用新型增加了狭缝风刀，通过干燥空气将显影液和水去除，增强去除效果，配合显影降低转速，减少光刻胶底部的药液渗入。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 显影 控制 装置 | ||
【主权项】：
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