[实用新型]一种单晶炉摇臂吊抓开合装置有效

专利信息
申请号: 202222040503.4 申请日: 2022-08-04
公开(公告)号: CN217869184U 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 周云龙;吴凌锋 申请(专利权)人: 浙江晶泰半导体有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B15/00
代理公司: 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人: 陈包杰
地址: 325600 浙江省温州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种单晶炉摇臂吊抓开合装置。本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作方便、动作可靠的单晶炉摇臂吊抓开合装置。本实用新型采用的技术方案:包括摇臂旋转筒、摇臂主体,所述摇臂主体包括三个绕圆弧间隔设置的主体梁,还包括吊抓开合装置、吊环装置和气动电磁阀,所述吊抓开合装置包括位置微调装置、开合气缸组件和吊钩组件,所述位置微调装置包括吊钩安装板和安装板螺钉,吊钩安装板上设有吊钩第一固定块和吊钩第二固定块,所述吊钩第一固定块和所述吊钩第二固定块均设有吊钩安装孔。本实用新型的优点在于:采用气动控制摇臂吊抓装置的开合,节省了人力,提高了生产效率和人员安全性,吊抓装置到导向性好,动作稳定可靠。
搜索关键词: 一种 单晶炉 摇臂 吊抓开合 装置
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