[实用新型]湿度感测结构及湿度传感器有效
申请号: | 202222009760.1 | 申请日: | 2022-08-01 |
公开(公告)号: | CN217931511U | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 李萍萍 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 方世栋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种湿度感测结构及湿度传感器,旨在将第一湿敏电极所在的基板与第二湿敏电极所在的基板分开,并采用倒装键合的方式将所述第一基板与所述第二基板之间固定连接,使得至少一个感湿介质层的与所述第一基板和第二基板平行的感湿表面与空气直接接触,以加快水分子扩散到感湿介质层的速度,从而提高具有该湿度感测结构的湿度传感器响应速度。 | ||
搜索关键词: | 湿度 结构 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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