[实用新型]一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机有效
| 申请号： | 202221639083.5 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN218120384U | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 孟令猛 | 申请（专利权）人： | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆懿 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗技术领域。一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机，包括一甩干机主体，甩干机主体包括甩干机腔体和一盖板，甩干机腔体的上方设有一环型治具，环型治具通过螺丝固定在甩干机腔体的上方，盖板的下表面设有一圈密封硅胶，密封硅胶的外径与环型治具的外径一致；密封硅胶上设有一周向排布的凹槽，凹槽的开口朝向盖板的中心轴线，凹槽与环型治具的外边缘卡接；环型治具是由不锈钢制成的治具，且环型治具的外径为650.6mm，环型治具的内径为580mm，环型治具的厚度为3mm；环型治具的上表面设有八个等间距排布的安装孔。盖子下降时凹槽正好压在环形治具下，增加了密封性能，通过生产实验，增加环形治具后甩干的硅片，条状颗粒消失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 环型治具 改善 条状 颗粒 甩干机 | ||
【主权项】：
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