[实用新型]一种氨热法反应釜釜盖组件有效
申请号: | 202221630492.9 | 申请日: | 2022-06-28 |
公开(公告)号: | CN217568689U | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 杨波;乔焜;张言平;张潇;何晓 | 申请(专利权)人: | 四川航空工业川西机器有限责任公司;国镓芯科(深圳)半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01J19/02 | 分类号: | B01J19/02 |
代理公司: | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人: | 张鸣洁 |
地址: | 625100 四川省雅*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氨热法反应釜釜盖组件,包括端盖(1)和上内衬套(2),端盖(1)是柱体,端盖(1)下部设置有与釜体组件(6)紧固连接的突缘,端盖(1)底面开有内凹腔,内凹腔内固装有用于把端盖(1)和釜体组件(6)内酸性气体隔离并密封的上内衬套(2),端盖(1)顶面开有用于充装氨气的进气口,进气口贯通端盖(1)和上内衬套(2),进气口内设置防腐管(3),上内衬套(2)用防腐蚀材料制成,上内衬套(2)下端面设置有与釜体组件(6)下内衬套凹槽配合安装密封圈的密封凹槽(8),这样釜盖组件既能承受高压又能承受酸性气体的腐蚀,实现了反应釜在热等静压机内采用氨热法制备单晶氮化镓的设计目标。 | ||
搜索关键词: | 一种 氨热法 反应 釜釜盖 组件 | ||
【主权项】:
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