[实用新型]光罩局部显影辅助装置

摘要

本实用新型实施例提供一种光罩局部显影辅助装置，包括：悬空设置以在下方形成用于供待显影光罩放置及移动的放置区域的承载支架；组装于承载支架上用于供操作人员查找及观察待显影光罩表面的待显影区域的显微镜；组装于承载支架上用于向待显影区域供应显影液的液滴供应器；以及组装于承载支架上用于从显影完成后的待显影区域吸取残留显影液的残液吸取器。本实施例避免通过肉眼直接查找，减小劳动强度，并提高精确度，然后液滴供应器向待显影区域供应显影液，对其进行显影，同时可借助显微镜对待显影区域进行观察，残液吸取器直接将残留的显影液吸附带走，保证光罩显影的有效性。