[实用新型]直列式制造设备有效
| 申请号： | 202221226980.3 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN218511288U | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 柳斗善;白炅旼;申铉亿;李侑钟;许明洙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D17/02;F25D17/06;F25D23/00 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;冯志云 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种直列式制造设备，包括：载体，传送基底；多个处理腔室，在经由所述载体传送的所述基底上执行制造工艺；以及冷却部件，用于降低所述基底的表面温度，并且能与所述载体一起移动。 | ||
| 搜索关键词： | 直列式 制造 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221226980.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双路输液滴斗
- 下一篇：一种具有快速拼接工装的装配式检测轻质墙板
