[实用新型]一种光学检测系统有效
申请号: | 202221199290.3 | 申请日: | 2022-05-17 |
公开(公告)号: | CN217766036U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 胡诗铭;张鹏斌;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 冀孟恩;彭家恩 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及一种光学检测系统,主要包括检测台、照明组件、物镜组件、图像传感器和直线移动组件,其中的直线移动组件用于调节物镜组件在预设直线方向上的移动位置,该物镜组件的移动位置用于改变检测光的偏移距离,通过修正检测光可使光学图像对准于预设的标准图像。技术方案利用直线移动组件对物镜组件的偏移距离进行调节,如此能够对光学图像进行位移补偿,利于通过物理修正的手段解决光学图像相对位移的问题。技术方案由于从物理光学方面进行了图像特征的位移补偿,可实现同一图像特征的准确对准,从而消除检测台结构形变的影响,利于提高系统对待测件表面异常区域检出的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 检测 系统 | ||
【主权项】:
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