[实用新型]惰性气体手套箱尾气吸附罐

摘要

本实用新型公开了惰性气体手套箱尾气吸附罐，在罐体内上部水平设置有隔板，将其内腔分隔为用于缓冲的上缓冲仓和用于储存吸附液的下液体仓，隔板中心连接空心圆管，空心圆管将上缓仓与下液体仓相连通，空心圆管的底端伸入至下液体仓的底部，罐体的上方连接有与上缓冲仓连通的进气管和测压管，罐体的侧壁连接有与下液体仓连通的出气管，出气管的管口位于隔板之下，罐体的侧壁安装有用于观察下液体仓内部的视镜。结构简洁、易于观察、安全系数高，用于吸附手套箱尾气中含有的MO源及ALD前驱体蒸产品汽，降低有机混合物爆炸的风险，减少对环境的污染。