[实用新型]一种用于晶圆盒橡胶圈清洗后的晾干装置有效
| 申请号： | 202221190135.5 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN217483146U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 吴泓明;钟佑生;陈志刚;周军磊;李常存 | 申请（专利权）人： | 郑州合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;F26B25/18;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京动力号知识产权代理有限公司 11775 | 代理人： | 张盼 |
| 地址： | 451162 河南省郑州市郑州航空*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆盒橡胶圈清洗后的晾干装置，包括主架体，主架体上设有一层或多层晾晒杆；晾晒杆上设有一组或多组用于支撑橡胶圈的可移动挂钩，挂钩上设有一个或多个用于隔离橡胶圈的挡块；主架体的底部设有用于调节主架体水平及高度的地脚。本实用新型提供的晾干装置可以实现将橡胶圈直接挂起来进行晾干，一方面晾干数量多可以同时晾干多个橡胶圈，可以节省很大空间及成本；另一方面橡胶圈周围空气流动顺畅，缩短了晾干时间，提高了产能；同时橡胶圈与挂钩接触面积很小，可以有效降低产生颗粒的风险。因此，该晾干装置在晶圆加工制作、尤其是晶圆盒清洗工序中具有较好的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆盒 橡胶圈 清洗 晾干 装置 | ||
【主权项】：
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