[实用新型]一种模块化废气处理腔室有效
| 申请号： | 202221126348.1 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN217725125U | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 孙涛 | 申请（专利权）人： | 盛奕半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D45/08;B01D45/06 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 孙力坚 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种模块化废气处理腔室，包括相互连接安装的若干个单元腔室，每个单元腔室自下而上包括：进气腔，其侧壁设有进气口；填充腔，与进气腔之间设有镂空隔板，所述填充腔内填充有派克填料，除雾腔，与填充腔之间设有喷淋管，所述喷淋管沿单元腔室内壁设置，喷淋管上设有至少两排喷淋孔，喷淋液至少喷淋向两个方向渗透派克填料；所述除雾腔侧壁设有出气口，出气口和进气口分别位于单元腔室的相对两侧，所述单元腔室的侧壁上还设有药液供给模块，药液供给模块的出液一端直接从单元腔室侧壁伸入，或与喷淋管的进液口可拆卸连接，所述单元腔室底部设有排水口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模块化 废气 处理 | ||
【主权项】：
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