[实用新型]一种光刻机的取片装置有效
| 申请号： | 202221120985.8 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN217425923U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 | 申请（专利权）人： | 上海芯立电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201314 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，涉及到光刻机领域，包括基板，其特征在于：所述基板的下侧均布固定安装有三个电机，所述电机的输出端固定安装有第一齿轮，所述基板的上表面固定安装有螺纹套筒，三个所述第一齿轮的周侧啮合有与所述螺纹套筒螺纹配合的第二齿轮，所述第二齿轮的上表面固定安装有滑动块，所述基板的上表面固定安装有固定板。本实用新型通过电机的装设能带动滑动块进行滑动，从而使得三个夹持块能相互靠近，使得该装置能对不同直径的晶圆进行夹紧，则从而使得该装置能对不同直径的晶圆进行夹取，夹持块的装设能对不同厚度的晶圆进行夹紧，则使得该装置能对不同厚度的晶圆进行夹持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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