[实用新型]一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉有效
申请号: | 202221103344.1 | 申请日: | 2022-05-09 |
公开(公告)号: | CN217423930U | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 侯闽渤 | 申请(专利权)人: | 广德特旺光电材料有限公司 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/06;F27B5/14 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 靳红妍 |
地址: | 242200 安徽省宣城市广*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉,包括壳体、炉体、加热件、模具和导热件,其中:壳体具有真空腔,炉体安装在真空腔内,与现有技术相同,壳体具有抽气管;炉体具有加热腔,加热件安装在加热腔的侧壁内,与现有技术相同,加热件安装在加热腔的每个侧壁,且加热件可以为现有技术中的电加热件;模具设在加热腔中,导热件竖向开有导热通孔,模具套在导热通孔内。本实用新型中,所提出的氧化钽陶瓷靶材真空热压炉,结构简单,通过导热件的设置便于对模具进行均匀加热,进而增大产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 陶瓷 真空 热压 | ||
【主权项】:
暂无信息
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