[实用新型]一种防护式晶圆清洗机台装置有效
| 申请号： | 202221024918.6 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217369498U | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防护式晶圆清洗机台装置，包括机台本体和旋转式防护门，机台本体的内部设置有清洗槽，机台本体的上表面沿其四周边缘设置有顶部敞开的防护挡罩，旋转式防护门包括第一旋转门、第二旋转门、第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件，且每根转轴均于防护挡罩的外部安装有一驱动齿轮，第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件的驱动轴上均设置有与驱动齿轮相啮合连接的直线齿条，本实用新型通过在机台本体上设置有防护挡罩并通过第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件与第一旋转门和第二旋转门配合使用，能对防护挡罩进行密封，这样在不影响晶圆上下料的情况下，还能避免清洗溶剂挥发对操作人员的身体产生影响，具有较高的使用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防护 式晶圆 清洗 机台 装置 | ||
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