[实用新型]一种皮带输送装置

摘要

本实用新型属于硅片加工技术领域，公开了一种皮带输送装置，包括输送架组件、输送皮带组件和吸附组件；输送架组件包括两个平行且间隔设置的支撑板，输送架组件沿支撑板的长度方向包括输送位和检测位，支撑板在检测位设置有多个真空吸附孔；输送皮带组件包括两条分别连接于支撑板的输送皮带，两条输送皮带能够分别沿支撑板的长度方向同步循环转动以输送工件；吸附组件被配置为使真空吸附孔产生负压吸力，真空吸附孔被配置为吸附输送皮带以使输送皮带贴合支撑板。本实用新型的皮带输送装置，通过支撑板两侧的真空吸附孔能够避免输送皮带输送过程中的跳动，避免影响工件的检测效率和检测精度。