[实用新型]一种废气输送装置有效
| 申请号： | 202220967536.0 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN217462688U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 苏烽;汪东 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F04F5/20 | 分类号： | F04F5/20;F04F5/46 |
| 代理公司： | 北京索睿邦知识产权代理有限公司 11679 | 代理人： | 朱玲 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 废气输送装置，包括一个废气处理器和一个射流泵；废气处理器用于在负压状态下吸收废气；射流泵具有相互连通的一个第一端部和一个第二端部，第一端部连接机台的废气端，第二端部连接废气处理器的输入端；第二端部和第一端部之间形成有一个真空区域，第一端部朝向真空区域的端部具有一个第一喷嘴，所述第一喷嘴的横截面尺寸随着第一喷嘴的延伸方向渐缩，第二端部朝向所述真空区域的端部具有一个第二喷嘴，第二喷嘴对接所述第一喷嘴，并与第一喷嘴之间围合形成真空区域，其中，第一端部和第二端部相互连通，第二端部和第一端部之间形成有一个真空区域，真空区域对外负压吸收其他气体，其他气体在真空区域助力废气，并带动废气进入至废气处理器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废气 输送 装置 | ||
【主权项】：
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