[实用新型]一种应用于单晶炉的炉室有效
| 申请号： | 202220770467.4 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN217600912U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 林龙强;李建和;刘智嘉;黄汝华 | 申请（专利权）人： | 中山市汇创精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种应用于单晶炉的炉室，包括炉室本体，所述炉室本体围合形成提拉通道，所述炉室本体包括外壳和内壳，所述外壳和所述内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对提拉通道内的晶棒进行换热，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，弹性密封水道结构和换热空间围合形成循环水道，弹性密封水道结构的一侧与内壳连接，弹性密封水道结构的另一侧与外壳连接，所述弹性密封水道结构用于使所述外壳和所述内壳紧密连接，所述炉室本体还包括上炉室本体和下炉室本体，所述上炉室本体连接在所述下炉室本体的上侧。本实用新型设置的弹性密封水道结构，使得炉室本体的外壳和内壳紧密相连，保证换热效率，避免窜水现象的发生，能够提高炉室的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 单晶炉 | ||
【主权项】：
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