[实用新型]一种晶圆置放装置、探针台及晶圆测试自动线有效
| 申请号： | 202220696767.2 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN217639369U | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 胡耿涛;林生财 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种晶圆置放装置，设置有线性驱动部，沿线性驱动部运动输出方向垂直连接有挡部，所述线性驱动部能够驱动所述挡部运动；设置有置放面的承载部与线性驱动部本体连接，所述置放面与线性驱动部运动输出方向平行，且挡部穿过所述置放面，使线性驱动部驱动挡部作用于置放面的晶圆；设置有该晶圆置放装置的探针台和晶圆测试自动线；晶圆置放装置能够容纳更多的晶圆，从而减少更换晶圆置放装置耗费的时间，提升晶圆测试的效率；且放置于晶圆置放装置的晶圆位置准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 置放 装置 探针 测试 自动线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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