[实用新型]一种氧化炉均匀喷淋装置有效
申请号: | 202220608789.9 | 申请日: | 2022-03-21 |
公开(公告)号: | CN217615400U | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 黄营超;周炳 | 申请(专利权)人: | 德兴市意发功率半导体有限公司 |
主分类号: | B05B7/08 | 分类号: | B05B7/08;C30B33/00 |
代理公司: | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人: | 徐伟华 |
地址: | 334200 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氧化炉均匀喷淋装置,其包括:混气筒、管接头、第一布气管和第二布气管,所述第一布气管和第二布气管平行设置在混气筒中,所述混气筒的前端设置有第一盖板,所述混气筒尾端设置有第二盖板,所述管接头与第一布气管前端之间设置有贯穿第一盖板的第一供气管,所述管接头与第二布气管尾端之间设置有贯穿第二盖板的第二供气管,所述第一布气管和第二布气管上间隔设置有布气孔,所述混气筒底部间隔设置有至少一排喷淋孔。本实用新型所述的氧化炉均匀喷淋装置,特别设计了第一布气管和第二布气管,抵消布气孔的出气差异,并利用混气筒进行混气,确保气压均匀性,最后通过喷淋孔喷出。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 均匀 喷淋 装置 | ||
【主权项】:
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