[实用新型]一种单晶炉热场对中工装有效
申请号: | 202220594876.3 | 申请日: | 2022-03-18 |
公开(公告)号: | CN217052478U | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 潘军明;刘忠琼;林永圳;陈效贤;张军;马自成 | 申请(专利权)人: | 四川永祥光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;C30B15/20 |
代理公司: | 成都欣圣知识产权代理有限公司 51292 | 代理人: | 彭伟 |
地址: | 614802 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉热场对中工装,涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括基座,基座上滑动设有滑柱,滑柱上设有距离传感器,基座内设有定位夹持机构,所述基座上设有圆环形的滑轨,所述滑柱滑动设于滑轨内,通过所述定位夹持机构使基座固定在坩埚托杆上并且滑轨与坩埚托杆处于同轴状态。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 工装 | ||
【主权项】:
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