[实用新型]一种石英片装卸装置有效
| 申请号： | 202220592620.9 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN217050757U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 韦铄烨 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G65/40 | 分类号： | B65G65/40 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 510700 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种石英片装卸装置，该石英片装卸装置包括载物架、载物框架及升降架，其中，载物架包括载物部及与载物部连接并沿X方向延伸的定位部；载物框架包括第一侧壁、与第一侧壁相对设置的第二侧壁、顶板、底板及多个平行设于第一侧壁与第二侧壁相对面的凹槽，且设于第一侧壁的凹槽与设于第二侧壁的凹槽相对应，顶板上设有第一定位孔；升降架包括底座、位于底座上方的升降台及位于底座和升降台之间且分别与底座和升降台连接的升降部。本实用新型的石英片装卸装置通过载物架、载物框架及升降架的结合，调整升降架及载物框架的位置，实现了石英片的机械装载至晶舟中或从晶舟中卸载下来，提高了装卸石英片的效率，减少了晶舟的磨损概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 装卸 装置 | ||
【主权项】：
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