[实用新型]平台水平度调节机构及包括其的微组件翻贴转移装置有效

专利信息
申请号: 202220520270.5 申请日: 2022-03-10
公开(公告)号: CN216868021U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 陈弥彰 申请(专利权)人: 上海华方巨量半导体科技有限公司
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 蔡烨平;何桥云
地址: 201203 上海市浦东新区中国(上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及微组件制造领域,提供平台水平度调节机构及包括其的微组件翻贴转移装置。该平台水平度调节机构包括平台、支架、锁紧件和多个调节杆,调节杆活动地设置在支架上,锁紧件用于锁紧调节杆相对支架的位置,调节杆与平台活动连接并能带动平台上下移动,调节杆的数量至少为三个,且各调节杆与平台的连接点的联机能围成多边形。通过设置支架以安装调节杆,设置锁紧件以锁紧调节杆使调节杆相对支架的位置固定,设置至少三个调节杆且调节杆与平台活动连接,通过上下移动调节杆以调节平台各部分的高度,以调整平台的水平度。该微组件翻贴转移装置包括该水平度调节机构。
搜索关键词: 平台 水平 调节 机构 包括 组件 转移 装置
【主权项】:
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