[实用新型]一种石墨烯的CVD卷对卷高效生产制备装置

摘要

本实用新型公开了一种石墨烯的CVD卷对卷高效生产制备装置，属于石墨烯卷对卷生产技术领域，包括左卷腔、中转腔和右卷腔，中转腔位于左卷腔和右卷腔之间，中转腔与左卷腔和右卷腔之间通过石英管分别设置有退火炉和生长炉，中转腔通过导气管道连接有真空泵，左卷腔和右卷腔中通过连接组件设置有对应不同铜箔卷筒使用的调节装置，且左卷腔和右卷腔中均充入有保护气体，本实用新型公开的一种利用真空泵使生长气流的移动方向与铜箔运行方向相反，避免废弃物堆积于已经完成的石墨烯表面，并通过调节装置和连接组件的配合使其适用不同尺寸的铜箔卷筒使用的制备装置。