[实用新型]一种太赫兹光谱仪的扫描装置有效
申请号: | 202220475942.5 | 申请日: | 2022-03-04 |
公开(公告)号: | CN217277854U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 李茜;牛炜杰;黄美玲 | 申请(专利权)人: | 太赫兹科技应用(广东)有限公司 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586;G01N21/01;G01J3/42;G01J3/06 |
代理公司: | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人: | 林伟斌 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及太赫兹光谱仪扫描技术领域,公开了一种太赫兹光谱仪的扫描装置,包括:设置在同一安装水平面上的输入组件、辐射光传输组件和输出组件,还包括:探测光传输组件,设置在安装水平面上,形成快速扫描和慢速扫描共用且连通输入组件和输出组件的光路;包括:反射组件和回反射组件;慢扫驱动组件,调节反射组件和回反射组件之间的相对位置;快扫驱动组件,与回反射组件相连,调节回反射组件的运动频率,本实用新型能有效提高整体性能,从而提高产品功率,同时能节省调试次数,节省调试时间,还能进一步减少设备占用空间,缩小设备整体体积,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 光谱仪 扫描 装置 | ||
【主权项】:
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