[实用新型]三氟化氮电解槽取样装置有效
| 申请号： | 202220236269.X | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN216747020U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 曲昆;毕伟革;王鹏飞;赵金旭;曹娅妮;宫磊;王杰 | 申请（专利权）人： | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24;G01N1/34 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 胡莹 |
| 地址： | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型属于工艺气体取样技术领域，涉及一种三氟化氮电解槽取样装置，连接在三氟化氮电解槽上，包括精取样单元，精取样单元与三氟化氮电解槽之间设有过滤单元，过滤单元通过抽气管与三氟化氮电解槽连通；精取样单元的进气口连通过滤单元的出气口，精取样单元的出气口连通真空泵的抽气口，真空泵的排气口通过回气管连通三氟化氮电解槽；精取样单元包括储气箱，储气箱两端分别与过滤单元和真空泵连通，且储气箱连通取样管的一端，取样管的另一端连通负压袋一，取样管上设有流量计和取样阀。本实用新型能够及时且准确的完成取样工作，有效的保证取样检测结果具有参考价值，降低了产生经济损失的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 电解槽 取样 装置 | ||
【主权项】：
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