[实用新型]一种新型线型探针测试结构有效
申请号: | 202220179559.5 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN217561644U | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 钱晓晨;卢祯松 | 申请(专利权)人: | 苏州和林微纳科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04 |
代理公司: | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 乔静 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型线型探针测试结构,包括顶板、底板、线型探针、被测晶圆和PCB板,所述顶板设置在底板上方,所述PCB板设置在底板下方,所述被测晶圆设置在顶板上方,所述顶板、底板上均设置有多个引导孔,线型探针的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中,所述顶板包括第一顶板、第二顶板和第三顶板,所述底板包括第一底板、第二底板和第三底板,所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a,且0a30°。本实用新型通过设置倾斜的引导孔,在将线型探针用治具按压于PCB板时,减少线型探针在引导孔中滑动导致的磨损,通过使线型探针挠曲,产生的弹性力,能够使线型探针可靠地与PCB板端子接触,增强该测试结构的测试稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 线型 探针 测试 结构 | ||
【主权项】:
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