[实用新型]一种晶圆保温扩散装置有效
| 申请号： | 202220115978.2 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN216738636U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 朱亚文;刘宁;纪大鹏;马勤明;申先海;马迁益 | 申请（专利权）人： | 重庆长捷电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/18 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 冉玲芬 |
| 地址： | 409100 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆保温扩散装置，包括炉体和两个位于炉体两端的保温环；所述炉体内均布有若干数量的温度传感器，所述炉体内还设有若干组加热丝，所述加热丝的数量与温度传感器的数量相等，相邻两组加热丝互不重叠，在实际使用中，将传统的整段加热丝分为若干段独立的加热丝，不仅能让温度传感器有效监控炉体内部的部分长度，而且分开独立控制也能节能，避免不需要补热的区域的加热丝耗能生热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保温 扩散 装置 | ||
【主权项】：
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