[实用新型]平衡补偿装置和单晶炉有效
| 申请号： | 202220114356.8 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN216998666U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 杨林志 | 申请（专利权）人： | 保山隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 678000 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种平衡补偿装置和单晶炉，涉及单晶制造技术领域，以解决热屏底部不同位置与坩埚所具有的开口之间的距离不同，导致成晶率降低的问题。所述平衡补偿装置包括：连接组件和定位组件。连接组件用于与单晶炉或单晶炉内的工作件固定连接，连接组件设置有沿竖直方向延伸的第一竖直导向结构，第一竖直导向结构的延伸方向平行于热屏的轴线。定位组件用于与热屏的顶面固定连接，定位组件的远离热屏的一端设置有与第一竖直导向结构导向配合的第二竖直导向结构。通过第二竖直导向结构与第一竖直导向结构的配合，使得热屏的轴线平行于竖直方向。本实用新型还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括上述技术方案所述的平衡补偿装置。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡 补偿 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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