[实用新型]一种新型坩埚托及氧化硼生产用承载组件有效
| 申请号： | 202220107833.8 | 申请日： | 2022-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN217210310U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 杨伟;罗爱斌;陈章水 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10 |
| 代理公司： | 清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型坩埚托，旨在降低氧化硼的生产成本，其技术方案：一种新型坩埚托，包括本体，所述本体包括架体、放置在所述架体上的托体，所述托体用于承托外设白金坩埚；所述托体由氮化硼材料制成；还提出一种基于上述新型坩埚托的氧化硼生产用承载组件；属于氧化硼生产技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 坩埚 氧化 生产 承载 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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