[实用新型]一种臭氧发生装置有效
| 申请号： | 202220049634.6 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN216808145U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 丁香鹏;仉佃仪 | 申请（专利权）人： | 青岛国林环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B13/11 | 分类号： | C01B13/11 |
| 代理公司： | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人： | 张福华 |
| 地址： | 266031 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种臭氧发生装置，包括放电室、高电压电极、低电压电极；所述放电室为绝缘容器，包括第一入口、第一出口及相对的第一侧壁、第二侧壁；所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的空间用于充满反应气体；所述第一入口用于通入所述反应气体；所述第一出口用于通出所述反应气体；所述高电压电极为导电金属电极，设置在所述第一侧壁上，位于所述放电室的外侧；所述低电压电极为导电金属电极，设置在所述第二侧壁上，位于所述放电室的外侧。本实用新型将高、低电压金属电极设置在放电室的外侧，使放电室内的反应气体不接触金属电极，从而避免反应气体中由于放电反应混入金属离子，提高反应气体的洁净度，进而提高半导体产品生产的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 臭氧 发生 装置 | ||
【主权项】：
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