[实用新型]一种用于晶圆的旋干机有效
| 申请号： | 202220038220.3 | 申请日： | 2022-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN217058260U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 张小春;吴端;刘鹏;叶信广 | 申请（专利权）人： | 晶芯半导体（黄石）有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/00;F26B25/00;F26B5/08;F26B23/04 |
| 代理公司： | 武汉世跃专利代理事务所(普通合伙) 42273 | 代理人： | 万仲达 |
| 地址： | 435000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种用于晶圆的旋干机，包括外壳，所述外壳的内壁固定安装有内筒，所述内筒的内部转动连接有放料工装，所述外壳内腔的底部设置有驱动机构，所述外壳内腔的左侧设置有烘干机构，本实用新型将晶圆工件放在内胆内部的放料槽中，并且通过挡盖将内胆固定在外罩中，当驱动机构带动外罩转动的时候，内胆也会同步跟随旋转，通过离心力的作用将晶圆上的水分充分甩出，并且在甩水的过程中，烘干机构能够持续不断的向内胆处喷射高温气体，用来进一步加快晶圆表面水分的蒸发，而且由于内胆为旋转装，因此气体能够对晶圆的任何位置进行干燥，进而避免产生水渍残留现象，因此非常值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋干机 | ||
【主权项】：
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