[发明专利]一种全自动旋涂装置在审
| 申请号： | 202211674339.0 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN115805167A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 苏正华 | 申请（专利权）人： | 长沙一清智能设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/08;B05C9/14;B05C13/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 长沙智勤知识产权代理事务所(普通合伙) 43254 | 代理人： | 曾芳琴 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市岳麓区洋湖街道先导路69号禧荣*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种全自动旋涂装置，包括物料台、机械臂、旋涂仪、加热器、滴胶设备和控制器，控制器分别电连接机械臂、旋涂仪、加热器和滴胶设备；控制器用于控制机械臂将物料台内基片送入旋涂仪，以使旋涂仪将基片固定；控制器还用于控制机械臂驱动滴胶设备移动至旋涂仪上方位置，以使滴胶设备向旋涂仪内基片滴胶；控制器还用于控制旋涂仪驱动滴胶后的基片旋转，以使机械臂将旋转后的基片送入加热器；控制器还用于控制加热器对旋转后的基片加热，以使机械臂将加热后的基片送入物料台。本发明提出技术方案中以使整个旋涂法的实验过程完全实现自动化和机械化，这样既提高了作业效率，又降低了失误率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 装置 | ||
【主权项】：
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