[发明专利]一种无焦激光镜组、精密装调装置及精密装调方法在审

专利信息
申请号: 202211642284.5 申请日: 2022-12-20
公开(公告)号: CN115826258A 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 郑天然;王方;徐振源;邹蕊矫;陈桥;刘红婕;孙来喜;袁强;邓学伟 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G02B27/62 分类号: G02B27/62;G02B27/09;G02B27/00
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 于晶晶
地址: 621999*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种无焦激光镜组、精密装调装置及精密装调方法,无焦激光镜组包括元件,所述元件设置有至少两个;镜框,所述镜框用于对元件进行固定;以及连接杆,所述连接杆至少设置三根,每一根所述连接杆将多个镜框连接在一起;精密装调装置包括激光光源、半反半透镜、第一扩束/缩束镜组、反射镜、第二扩束/缩束镜组以及波前传感器;装调方法包括:S01、获取参考波像差;S02,无焦激光镜组光学元件调整与测试;S03、锁定光学元件位姿关系;S04、无焦激光镜组组装;S05、无焦激光镜组复测;既不会带来色差,也不存在波前差难以准确扣除的问题,并且能够实现良好的装调效果。
搜索关键词: 一种 激光 精密 装置 方法
【主权项】:
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