[发明专利]温度补偿型薄膜体声波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211637518.7 | 申请日： | 2022-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN115865037A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/13;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林晓欣 |
| 地址： | 517000 广东省河源市源城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种温度补偿型薄膜体声波滤波器，所述滤波器包括第一谐振器和第二谐振器。所述第一谐振器包括依次层叠设置的第一衬底、第一电极、第一压电层、第一温补层以及第二电极，所述第二谐振器包括依次层叠设置的第二衬底、第三电极、第二压电层、第二温补层、第四电极以及加厚层。本发明还提供了一种所述的温度补偿型薄膜体声波滤波器的制备方法。本发明能够避免影响滤波器的品质因数(Q值)以及插损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 补偿 薄膜 声波 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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