[发明专利]金刚石盘的监控方法及系统有效
| 申请号： | 202211632324.8 | 申请日： | 2022-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN115625571B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张新峰;德米特罗维奇德米特里;龙安泽;高欣;石然;黄杰;冒振东;杜陈 | 申请（专利权）人： | 江苏卓远半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B49/00;B24B49/12;B24B49/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了金刚石盘的监控方法及系统，所述监控方法包括以下步骤：监控端监控金刚石盘的表征状态以及运行状态，并生成图像数据以及模拟信号发送至处理端；处理端接收监控端发送的图像数据以及模拟信号后，分别对图像数据以及数字信号进行处理，数字信号处理为监控数据并存储。本发明通过在金刚石盘使用前以及使用后采集金刚石盘的表面图像信息，当金刚石盘表面缺陷时，可及时提醒人工更换或维护，在金刚石盘处理研磨垫的过程中实时监控金刚石盘的运行状态，并根据监控信息实时调节金刚石盘以最优运行状态处理研磨垫，监测精度高，且自动调节最优运行状态，不仅无需停机调节，而且对研磨垫的处理效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
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