[发明专利]基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法有效
| 申请号： | 202211624302.7 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN115755627B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘杨;陈帅奇;宋法质;崔宁 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 郭莹莹 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法，所述方法包括系统扫频数据获取、系统模型辨识、虚拟系统构建以及模型预测前馈四部分。本发明通过设计虚拟系统，采用虚拟状态反馈的模型预测方法对系统进行精准前馈控制量补偿，既可以发挥模型预测控制强大的轨迹跟踪能力，又能利用虚拟系统屏蔽外界扰动的影响，保证前馈补偿输入的准确性。此外，使用系统虚拟系统避免了复杂的状态观测器设计问题，降低了前馈控制器设计难度，提高了纳米级精密运动台的估计跟踪性能。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 模型 预测 纳米 精密 运动 台前 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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