[发明专利]一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备在审
| 申请号： | 202211619364.9 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN115928032A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 刘建波 | 申请（专利权）人： | 昆山东威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 汤荞赫 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括：壳本体、放卷机构、收卷机构、镀膜辊结构、屏蔽隔离装置、溅射阴极结构以及抽气结构。该新型设备能实现在超薄膜材上一次完成多层膜系正反两面的镀膜，解决了起皱、针孔、掉渣等质量缺陷，比传统镀膜机上完成双面镀要采用正反面先后镀的方式，生产周期短，生产效率高、成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 磁控溅射 卷绕 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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