[发明专利]一种用于降低清洗酸槽中酸用量的添加剂以及应用在审

专利信息
申请号: 202211595109.5 申请日: 2022-12-12
公开(公告)号: CN115975738A 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 陈魏;周浩;彭丽;韩军;王涛 申请(专利权)人: 嘉兴市小辰光伏科技有限公司
主分类号: C11D1/825 分类号: C11D1/825;C11D3/33;C11D3/28;C11D3/37;C11D3/32;C11D3/60;B08B3/08
代理公司: 浙江嘉腾专利代理有限公司 33515 代理人: 黄江
地址: 314031 浙江省嘉兴市秀洲区康和*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种用于降低清洗酸槽中酸用量的添加剂以及应用,添加剂包括螯合剂1~3%、表面润湿剂0.05~0.1%、表面活性剂0.01~0.05%、助溶剂1~2%以及去离子水,将添加剂按质量比0.5~1.5%加入到酸槽溶液中,混合均匀得到酸槽清洗液,将制绒后的硅片经去离子水中清洗,再置入后双氧水槽中清洗,再置入去离子水中清洗后投入酸槽清洗液中进行酸洗,后浸入去离子水中再清洗后浸渍于去离子水中慢慢提拉出来,然后置于干燥箱中烘干,增加HF的使用效率以及可以有效降低生产线上酸槽中使用的酸耗量,降低耗量的同时提升了金属离子的去除效果。
搜索关键词: 一种 用于 降低 清洗 酸槽中酸 用量 添加剂 以及 应用
【主权项】:
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